Laser Optics Berlin

Die Berliner Firma entwickelt und produziert optoelektronische Module mit höchster Positioniergenauigkeit im Sub-Mikrometer-Bereich, also < 1 µm @ 3 Sigma, bei vollautomatischen Prozessen. Auf der microsys berlin 2012 präsentiert der Miniaturisierungs-Spezialist unter anderem ein VCSEL-Modul (Bild), das aus 4.096 VCSELn (vertical-cavity surface-emitting laser) besteht, welche auf einem Glas-Substrat aufgebaut sind. Weiterhin ist der gesamte Zusammenbau dieses hochkomplexen Moduls in der Verantwortung des Ausstellers. Dabei wird unter anderem ein aktives Alignement durchgeführt, bei dem ein Mikrolinsen-Array mit 4.096 Linsen zu dem VCSEL-Array ausgerichtet wird. Die Fertigung dieser hochpräzisen Produkte stellt höchste Anforderungen an eine saubere Umgebung und erfolgt daher im Reinraum der ISO-Klasse 5. Optoelektronische Module sind in zahlreichen Branchen anzutreffen. Dazu zählen beispielsweise VCSEL-Arrays für die Halbleiterindustrie, Laser-Systeme für die Medizintechnik sowie Radar- und Messsysteme für das Militär.

Zur effizienteren Einkopplung und Bündelung der Strahlung von Laserdioden mit ihrer speziellen Abstrahlcharakteristik bietet die in Bonn ansässige Firma als Neuheit Multimode-Stufenindex-Fasern mit rechteckigem Silica-Core und rechteckigem fluordotierten Silica-Cladding an. Diese Fasergeometrien mit einem Aspektverhältnis bis zu 1 zu 3 und ab 33 mal 100 µm Kernquerschnitt erschließen außerdem mit ihrer optimalen Spaltausleuchtung neue Anwendungsmöglichkeiten in der UV-VIS-NIR-Spektroskopie. Damit wird das Sortiment an nicht-runden Fasern erweitert. Bereits verfügbar sind Fasern mit quadratischem Kern und quadratischem Cladding sowie Fasern mit rechteckigem, hexagonalem oder oktogonalem Kern und mit kreisförmigem Cladding. Die nicht-runde Kerngeometrie bewirkt eine bessere Modenmischung bei geringer Aufweitung der Numerischen Apertur.

Speziell für den Einsatz in Faserlasern als gepulst betriebener Seed-Laser bietet die Berliner Firma einen neuen Distributed Feedback (DFB)-Laser (Bild) an. Im Pulsbetrieb – mit Pulsbreiten im ns-Bereich – erzielt der 1064 nm Laser Pulsleistungen von 600 mW und mehr. Der Laser wird in dem bewährten 14-Pin-Butterfly-Gehäuse mit polarisationserhaltender SM-Faser angeboten. Dieses Gehäuse ist für extreme Einsatzbedingungen ausgelegt und wurde bereits für Weltraumapplikationen genutzt. Dies ermöglicht den Betrieb des Lasers in einem äußerst weiten Temperaturbereich von -45 bis +85 Grad Celsius. Der neue Seed-Laser des Ausstellers findet bereits bei namhaften Herstellern von industriell eingesetzten Faserlasern Anwendung und ist jetzt am Markt verfügbar. Erfolgreich eingesetzt wird er auch bereits für ein Space-Programm in Nordamerika.

Die litauische Firma mit Sitz in Vilnius hat über 25 Jahre Erfahrung im Photonik-Markt und beliefert zahlreiche OEM-Kunden sowie Forschungs- und Entwicklungseinrichtungen. Zum Angebot gehören optische Komponenten für Präzisionslaser, Laser und nichtlineare Kristalle sowie Positioniermechanik. Auf der Laser Optics Berlin 2012 präsentiert der Aussteller neue Pockels Cells (Bild) der D-Compact-Serie mit KD*P-Kristallen. Die neuen Pockels Cells haben einen Durchmesser von einem Zoll und besitzen ein robustes Design. Weiterhin verfügen die D-Compact-Cells über ein hohes Kontrastverhältnis von größer als 1:2000 und sie benötigen mit 6,8 kV DC die typische Halbwellen-Spannung bei 1.064 nm Wellenlänge. Die DKDP-Kristalle innerhalb der Zellen sind fenstergeschützt und alle optischen Teile sind für eine hohe Zerstörschwelle mit AR-Beschichtungen versehen. Die optische Übertragung erreicht mehr als 96 Prozent bei 1.064 nm oder anderen vorgegebenen Wellenlängen. Zu den vorrangigen Anwendungen der neuen D-Compact-Serien-Cells gehören das Cavity Q-Switching und Dumping von kompakten medizinischen, industriellen und wissenschaftlichen Lasern und Lasersystemen.

Die TSCSPC-Methode (time- and space-correlated single photon counting) erlaubt unter Verwendung von Weitfeld-Detektoren und basierend auf ortsempfindlichen Delay-Line-Anoden und minimal-invasiver Weitfeld-Beleuchtung erstmals Fluoreszenzmessungen von lebenden Zellen unter physiologischen Bedingungen. Sie ist ultra-empfindlich (Einzelmolekül) und hat einen ultra-dynamischen Bereich von > 106, bei einer Zeitauflösung < 3 ps, Ortsauflösung < 60 Mikron an der Photokathode (1.200x1.200 Pixel) und einem Durchsatz von 106 cps. Dabei wird Video-Geschwindigkeit erreicht. Durch die Anwendung von synchronisierter Multikanal- und Multi-Methoden-Konfiguration (Bild) entsteht eine neuartige, zeitaufgelöste Weitfeld-Fluoreszenz-Bilderfassung für ultra-parallele und minimal-invasive Anwendungen in Makro-, Mikro- und Nanoskopie. Sie ermöglicht systemübergreifende multiparametrige Messdatenerfassung. Durch synchronisierte Kombination von TSCSPC mit modernen Nanoskopiemethoden wird laut Aussteller zum ersten Mal ps/ns-zeitaufgelöste Nanoskopie erreicht, das heißt FLIN (fluorescence lifetime imaging nanoscopy) zur simultanen nm-Distanzbestimmung und ps-Zeitmessung.

Der automatische Bondtester 5600C (Bild) des österreichischen Ausstellers ist nach eigenen Angaben der erste und bisher einzige automatische Bondtester auf dem Weltmarkt. Automatisches Testen spart nicht nur Kosten, sondern ist auch völlig frei von Bedienereinflüssen und liefert so bessere Testresultate. Der 5600C sei außerdem der einzige Pulltester weltweit, der automatisch die Messwerte auf die korrekte Drahtgeometrie normalisiert und dadurch die cpk-Werte erheblich verbessert, so der Hersteller. Automatisierte Schertests sind genauso einfach. Hier sorgt der 5600C dafür, dass der Schermeißel immer im korrekten Winkel angreift, egal in welcher Richtung der Bonddraht verläuft. Sowohl nichtzerstörende als auch zerstörende Messungen sind problemlos und erlauben dadurch sogar eine 100-Prozent-Kontrolle von Dickdrahtbonds bei kritischen Komponenten, was bisher viel zu aufwändig war. Zusätzlich lässt sich der neue Bondtester durch einfachen Kopftausch auf alle Drahtbondverfahren umrüsten. Bonden und Testen in einer einzigen Maschine ergeben eine optimale Kombination.

Für Justage- und Align-Aufgaben eignet sich der parallelkinematische Planartisch 3DOF (Bild). Er erlaubt eine schnelle und präzise Korrekturbewegung linear in X- und Y-Richtung sowie rotativ um die Z-Achse. Die drei unabhängigen Direkt-Linearantriebe sind jeweils mit einem hochauflösenden absoluten Messsystem ausgerüstet und verfahren und verdrehen das Objekt parallelkinematisch in die gewünschte Zielposition. Das einzige bewegte Teil ist der Objektträger. Er schwebt verschleißfrei auf einem wenige Mikrometer starken Luftfilm und wird nur von den Antriebskräften der Aktoren in Position gehalten. Durch die Direktantriebe mit stehenden Spulen, die Luftlager und die berührungsfreien optischen Messsysteme arbeitet das System ohne Verschleiß, Schmierstoffe, bewegte Kabel und Schläuche sowie ohne Partikelgenerierung. Durch Absenken der Luftlager lässt sich das Objekt in der Zielposition energiefrei arretieren. Die Korrekturbewegungen können maximal ±1 mm Weg und gleichzeitig ±1 Grad Drehwinkel betragen. Das System ist für eine Nutzlast von 10 bis 20 kg ausgelegt, wobei die vektoriellen Linearmesssysteme derzeit eine Auflösung von 0,25 μm aufweisen.

Laser-Oszillatoren der FEMTOSOURCE[TM] XL-Serie kann der österreichische Aussteller jetzt mit seinem optisch-parametrischen Verstärker Europa[TM] (Bild) anbieten. Dieser direkt vom Oszillator gepumpte OPA liefert durchstimmbare "Signal"-Femtosekunden-Pulse im Wellenlängenbereich von etwa 1.000 bis 1.400 nm mit bis zu 30 nJ pro Puls und bei einer Pulswiederholrate von 4 oder 5 MHz. Eine integrierte Frequenzverdopplung für den "Signal"-Ausgang ist optional erhältlich und liefert durchstimmbare Pulse im Bereich von 500 bis 650 nm mit bis zu 10 nJ pro Puls. Auf Wunsch kann das System auch mit dem schnellen PULSEFINDER[TM] Pulspicker erweitert werden. Es erlaubt dann die Programmierung der Pulswiederholrate vom Hertz- bis zum Megahertz-Bereich. Das Lasersystem eignet sich besonders für die zeitaufgelöste Femtosekunden-Spektroskopie im sichtbaren und im Infrarot-Wellenlängenbereich, wenn hohe Pulswiederholraten gewünscht sind. Beispiele sind die Spektroskopie von Halbleitern und Solarzellen.

Angesichts rasant steigender Datenmengen nehmen die Anforderungen an die Übertragungsraten zu. Mithilfe von Licht können erheblich höhere Datenraten als mit Mikrowellen über große Entfernungen übermittelt werden. Daher nimmt die Bedeutung der optischen Datenübertragung zu. Bislang kommen dafür im Weltraum vergleichsweise großformatige und ineffiziente Festkörperlaser zum Einsatz, die von halbleiterbasierten Lasermodulen optisch gepumpt werden. Das Lasermodul (Bild) des Ausstellers ist nur etwa so groß wie eine Streichholzschachtel und laut Entwickler weltweit einzigartig. Es liefert eine hohe Ausgangsleistung von über 1 W bei gleichzeitig schmaler Linienbreite von nur etwa 0,0001 pm. Für Präzisionsmessungen mit ultrakalten Atomen im Weltraum wurde dieses Modulkonzept erst kürzlich um eine integrierte elektronische Schnittstelle erweitert. Damit lässt sich die Temperatur im Inneren des Moduls an verschiedenen Stellen überwachen und der Injektionsstrom modulieren. Dadurch kann die Frequenz mit einer relativen Genauigkeit von 10-12 stabil gehalten werden. Das Modul kommt im Jahr 2013 an Bord einer Höhenforschungsrakete zum Einsatz.

Durch ein neues Beleuchtungskonzept des optischen Systems des FINEPLACER® lambda (Bild) werden Strukturen im Sub-Mikron-Bereich jetzt noch deutlicher dargestellt und dadurch erweiterte Bildinformationen gewonnen. Zu diesem Zweck wurde die Koaxialbeleuchtung angepasst und unterstützend eine Schräglicht-Beleuchtung eingeführt. Die koaxiale Beleuchtung lässt sich nun für Chip und Substrat getrennt einstellen und optimal an spezifische Gegebenheiten wie zum Beispiel den Grad der Oberflächenreflexion anpassen. Das neue Schräglicht liefert zusätzliche Bildinformationen bei der Ausrichtung, beispielsweise von rauen Strukturen und Oberflächen. Wie auch bei der koaxialen Beleuchtung sind hier die Lichtkanäle für Chip und Substrat separat einstellbar, um Strukturen/ Marken per Überlagerungsbild zueinander auszurichten. Für jeden Arbeitsschritt werden die gefundenen Lichtwerte in der Bonding-Software separat abgespeichert. Bei einem Profilwechsel sind sie somit sofort verfügbar. Besonders bei Anwendungen mit vielen Teilprozessen wie die Montage komplexer Hybridsysteme ermöglicht das einen verbesserten Workflow, da keine manuelle Blende justiert werden muss.

„Visible Light Communication“ ist eine neue breitbandige Übertragungstechnik. Über handelsübliche LED-Leuchten werden Datenströme im sichtbaren Licht auf Computer oder andere kommunikationsfähige Endgeräte übertragen (Bild). Die Bandbreite beträgt 10 bis 100 Mbit/s. Im Labor wurden bereits bis zu 800 Mbit/s Übertragungskapazität erreicht. Visible Light Communication nutzt die energieeffiziente Elektronik der LED-Technik und eignet sich sowohl zum Verteilen breitbandiger Videoströme als auch für die bidirektionale Kommunikation – von der Internet-Nutzung bis zur Videokonferenz. Die optische drahtlose Technologie kann dort eingesetzt werden, wo Wireless LAN nicht erwünscht ist. Zum Beispiel unter Wasser oder in Krankenhäusern mittels OP-Leuchten, die häufig standardmäßig bereits mit LEDs ausgestattet sind. Die Nutzung von sichtbarem Licht hat zusätzlich den Vorteil, dass durch den Lichtkegel die Verbreitung und Zugänglichkeit von Daten erkennbar ist. Die Grundlagen für die Visible Light Communication hat das Fraunhofer HHI gemeinsam mit den Industriepartnern Siemens und France Telecom Orange Labs im EU-Projekt OMEGA entwickelt.

Für die zunehmend populäre 3DIC-Fertigungstechnik hat der Aussteller eine universelle Messlösung entwickelt, das MicroProf TTV-Multisensor-Messgerät (Bild). Es eignet sich für Entwickler und Produzenten von Elektronik- und MEMS-Chips, die bereits die innovative 3DIC-Fertigungstechnik verwenden oder diese in Zukunft einführen möchten. Mit dem MicroProf sind sowohl Roh-Wafer als auch strukturierte oder mehrschichtige Wafer hinsichtlich der Dickenvariation (TTV), Ebenheit, Bump-Koplanarität und Oberflächen-Topographie hochauflösend und nach SEMI-Standards charakterisierbar. Für TSV-Messungen (Through Silicon Vias) kommt eine neue Technologie zum Einsatz. Damit lassen sich besonders kleine TSV bei sehr hohem Aspektverhältnis von < 5 µm Durchmesser und bis zu 180 µm Tiefe quantitativ evaluieren. Alle Messungen werden mit dem FRT-System wahlweise manuell oder vollautomatisch durchgeführt. Zudem steht eine vollintegrierte Lösung mit robotergestütztem Waferhandling, Rezepterstellung, automatischer Auswertung, Mini-Environment samt EFEM und einer SEMI-konformen SECS/GEM-Schnittstelle für die Anbindung an den Fab Host bereit.

Golddrähte mit einer dünnen Aluminium-Beschichtung (Bild) lassen sich bei Raumtemperatur im Wedge/Wedge-Ultraschallverfahren bonden. Die Drähte eignen sich sehr gut für das Golddraht-Bonden auf temperaturempfindlichen Bauteilen. Die resultierenden Loops haben eine hohe Reißfestigkeit und können zu einer größeren Zuverlässigkeit beitragen. – Weiterhin präsentiert die Hanauer Firma auf der Messe den Palladium-beschichteten Kupfer-Bonddraht PdSoft . Durch das Anwendungsgebiet im Ball und Wedge-Verfahren sind sowohl stabile zweite (Wedge-) Bonds als auch eine höhere Zuverlässigkeit erzielbar. Die Palladium-Schicht funktioniert wie ein Oxidationsschutz. – Für den Heraeus LiteGold-Draht wird eine kostengünstige Gold-Legierung mit verbesserter Zuverlässigkeit gegenüber AuAg- und 4N-Standard-Golddrähten angeboten. Es ergibt sich bei vergleichbarer Produktivität in der Anwendung von Golddraht eine hohe mechanische Festigkeit sowie eine gute und zuverlässige Ausführung des ersten und zweiten Bonds.

Eine neue Generation von Laserdioden-Modulen (Bild) stellt die in Dresden ansässige Firma auf der Laser Optics Berlin 2012 vor. Die Module sind in einem kompakten Gehäuse untergebracht und für folgende Wellenlängen ausgelegt: 405, 415, 425, 445, 460, 473, 488, 515, 532, 638, 642, 660 und 685 nm. Die Leistungsspektren reichen von 3 bis 75 mW, die Strahldurchmesser von 0,5 bis 1,8 mm. Der Abstrahlwinkel beträgt kleiner gleich 1,3 mm. Die Strahlqualität M2 ist kleiner 1,4 (TEM00), die Punktgenauigkeit kleiner 6 µrad/K. Die Modulgehäuse sind rund und haben einen Durchmesser von 12 mm sowie eine Länge von 40 mm. Die neue Modulgeneration ermöglicht sowohl eine analoge Modulation bis 1 MHz als auch eine digitale Modulation bis 100 MHz. Die Eingangsspannung reicht von 3 bis 15 V, das Modulationssignal von 0 bis 5V. Ein weiteres Merkmal ist das Laser-An/Aus-TTL-Signal mit 1 MHz. Für die neuen Laserdioden-Module gibt es ein separates, 80 mm langes und 40 mm hohes Netzgerät. Es besitzt eine Operationsspannung von DC 3 bis 15 V.

Deutlich mehr als 90 Prozent der Gewebeentnahmen im Zusammenhang mit der Diagnose von schwarzem Hautkrebs erweisen sich im Nachhinein als nicht notwendig. Im Rahmen einer mehrjährigen Forschung entwickelte die Berliner Firma eine neue Methode (Bild). Sie hat sich in den vergangenen Jahren in Zusammenarbeit mit Dermatologen und Histologen bei zahlreichen Untersuchungen am Patienten als sehr empfindlich und sicher erwiesen. Diese Methode nutzt zum Nachweis der Bösartigkeit des Tumors die Strahlungseigenschaften (Fluoreszenz) des verantwortlichen Hautfarbstoffes Melanin in seiner natürlichen Umgebung. Dies galt zuvor als unmöglich. Eine Früherkennung des schwarzen Hautkrebses ist jetzt "relativ" einfach möglich. Direkt am Patienten kann das verdächtige Hautareal optisch untersucht werden. Das Ergebnis liegt nach wenigen Minuten vor. Unnötige Gewebeentnahmen und teilweise lange und belastende Wartezeiten auf den Befund entfallen. Die ohnehin schon sehr große physische und psychische Belastung des Patienten lässt sich deutlich verringern.

Heute können routinemäßig Lichtimpulse erzeugt werden, bei denen die Einhüllende nur noch wenige Zyklen des elektrischen Feldes überspannt. (Bild: Die Ausschnittsvergrößerungen zeigen den besten bisher erreichten Jitter im Vergleich zum neuen Verfahren.) Bei derart kurzen Impulsen beginnt die Phasenlage der Trägerwelle relativ zur Einhüllenden eine entscheidende Rolle zu spielen, insbesondere für Anwendungen in der Attosekunden-Physik. Verfahren zur Messung und Stabilisierung sind zwar seit etwa zehn Jahren bekannt, dennoch stellt eine Stabilisierung über viele Stunden mit geringem Phasenjitter nach wie vor eine große Herausforderung dar. MBI-Forscher haben ein neuartiges Verfahren entwickelt, diese Stabilisierung der Carrier-Envelope-Phase über einen akusto-optischen Frequenzschieber zu implementieren. Es durchbricht die bisherigen Grenzen solcher Stabilisierungsschemen. Langzeitstabilität und geringes Restrauschen konnten demonstriert werden. Das Restrauschen dieses neuen Schemas entspricht einem Jitter zwischen Träger und Einhüllender von nur noch 8 as oder dem 300sten Teil einer Wellenlänge von 800 nm. Dies übertrifft alle bisherigen Demonstrationen um eine Größenordnung.

Die neuen faseroptischen Miniatur-Spektrometer der niederländischen Firma Avantes werden vom Aussteller in Deutschland vertrieben. Die Modellreihen " StarLine" und " SensLine" (Bild) arbeiten im Wellenlängenbereich von 200 bis 1.160 nm, die NIRLine-Spektrometer von 900 bis 2.500 nm. Weitere Merkmale der StarLine-Serie sind die wählbaren Gitter mit 300 bis 3.600 Linien je Millimeter, die Verwendung von CMOS- oder CCD-Detektoren und die spektralen Auflösungen bis 25 pm. Die SensLine-Spektrometer verwenden gekühlte oder ungekühlte back-thinned CCD-Detektoren und zeichnen sich durch eine außergewöhnliche Empfindlichkeit, durch wenig Dunkelstrom und durch einen hohen dynamischen Bereich aus. Lineare InGaAs-Arrays mit 256 und 512 Pixel kennzeichnen die NIRLine-Spektrometer. Bis zu Lichtwellenlängen von 1.700 nm kann zwischen den gekühlten und ungekühlten Detektoren gewählt werden. Bis 2.500 nm findet eine zweistufige Peltierkühlung Einsatz. Die spektralen Auflösungen reichen bis 1,5 nm.

Nachdem die Klappspiegelhalter KSH(M) 25 des Systems SYS 25 bereits für alle Einbaulagen nutzbar sind, hat der Aussteller jetzt die bisherigen Halter KSH(M) 40 und KSH(M) 65 (Bild) überarbeitet. Sie sind nun auf Kundenwunsch in allen Einbaulagen einsetzbar. Darüber hinaus eignet sich der KSH(M) 40 in der neuen Version für den Einsatz von transmittierenden Optiken. Durch den Aufbau der überarbeiteten Halter ist der maximal reflektierbare Strahldurchmesser bei Optiken mit 25 mm bzw. 1 Zoll oder mit 38,1 mm bzw. 1,5 Zoll größer geworden. In die Version KSH(M) 25 werden Optiken mit einem Durchmesser von 12,5 mm bzw. 0,5 Zoll eingesetzt. Um eine Reflexion um 90 Grad zu erhalten, wird der Schwenkarm der Klappspiegelhalter im 45-Grad-Winkel - je nach Ausführung nach rechts oder links - in den Lichtstrahl geklappt. Für ein optimales Ergebnis kann die Optik in der Taumelplatte mit Hilfe von Tellerfedern noch fein justiert werden. Der große Vorzug der OWIS Klappspiegelhalter besteht darin, dass zeitintensive Umbaumaßnahmen entfallen: Mit einem Handgriff kann der Anwender den Strahl zu unterschiedlichen Experimenten oder Aufbauten leiten.

Die PIFOC Piezo-Objektiv-Scanner-Systeme (Bild) des Ausstellers bestehen aus einer leistungsfähigen Piezomechanik und einem darauf optimal abgestimmten kompakten digitalen Controller. Diese Kombination bietet im Vergleich zu ähnlichen Systemen noch höhere Leistung bei gleichzeitig reduziertem Preis. Der integrierte keramische und reibungsfreie Piezo-Flexure-Antrieb bewirkt eine hohe Systemsteifigkeit und sorgt für spontanes Ansprechverhalten mit minimierten Einschwingzeiten sowie für außergewöhnliche Führungsgenauigkeit. Die Einschwingzeit von weniger als 10 ms erhöht die Durchsatzraten und ermöglicht das schnelle Scannen durch Z-Stacks. Kapazitive Sensoren messen die Position direkt und berührungslos. Sie bieten dabei eine Positionsauflösbarkeit von weit unter 1 nm, ausgezeichnete Linearitätswerte sowie die höchstmögliche Langzeitstabilität. Alternativ kommen kompakte, preisgünstigere Dehnmessstreifen-Sensoren mit Nanometerauflösung zum Einsatz. Sie werden an einer geeigneten Stelle im Antriebsstrang angebracht und messen so mittelbar die Auslenkung des bewegten Verstellerteils.

Die neue Version 6.24 von Projektron BCS (Bild) macht das Projektmanagement noch komfortabler. Verbesserte Prozess-Workflows sorgen für eine präzise Abbildung der Prozesse. Im Drag-and-Drop-Terminkalender lassen sich Termine sekundenschnell planen und verschieben. Der überarbeitete Einsatzplan liefert eine zuverlässige Grundlage für den Ressourceneinsatz. Bei der Projektplanung kann der Projektmanager jetzt die Bearbeitungszeit einer Aufgabe in Prozent angeben. Projektron BCS berechnet dann den absoluten Wert und passt ihn nach Änderungen automatisch an. Fungiert die freie Kapazität des Teams als feste Bezugsgröße beim Planen, unterstützt Projektron BCS auch hier mit einem neuen ressourcenorientierten Werkzeug. Das Kundenmanagement geht in der Version 6.24 noch leichter. Aufgrund der neuen Ampeln im Supportsystem sind kritische Kundentickets auf einen Blick sichtbar und können so gezielt bearbeitet werden. Dank der neuen Automatismen entlastet die webbasierte Projektmanagement-Software auch bei der Abrechnung von wiederholbaren Leistungen, etwa Servermiete oder Updates.

Der Einsatz von sehr dünnen Al2O3- und ZnO-Schichten als dielektrische, Sperr-, Passivierungs- oder Kontaktschichten, insbesondere auf 3D-Strukturen, verlangt eine hohe Qualität der Beschichtung. Atomlagenabscheidung (Bild: ALD-Reinraumanlage) statt konventioneller CVD- oder PECVD-Methoden basiert auf sequenzieller Zugabe der Ausgangsprodukte innerhalb eines Prozess-Zyklus und ermöglicht so eine präzise Kontrolle des Schichtenwachstums auch bei sehr dünnen Schichten. Der Aussteller hat ein plasmagestütztes PEALD-System (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) entwickelt, das sowohl thermische als auch plasmabasierte Beschichtungsprozesse ermöglicht (Bild). Schon bei relativ niedrigen Substrattemperaturen können so qualitativ hochwertige Schichten abgeschieden werden. Die ersten PEALD-Systeme befinden sich bereits erfolgreich im Einsatz, unter anderem an der TU Braunschweig. Sie finden bei der Abscheidung von homogenen Passivierungs- und Barriereschichten Anwendung. Bei Substrattemperaturen von bis zu 550 Grad Celsius und einer Reaktortemperatur bis 180 Grad Celsius lassen sich Proben bis zu einer Größe von acht Zoll beschichten. Je nach Einsatzbereich ist das PEALD-System erweiterbar.

Die stabilisierten He-Ne-Laser der Serie SL 04 (Bild) wurden hinsichtlich ihrer Baugröße (Durchmesser 45 mm, Länge 314 mm) auf aktuelle Kunden- und Marktbedürfnisse angepasst. Ihre Wellenlänge beträgt 632,8 nm. Die Laser können in den Betriebsarten Frequenz- und Amplitudenstabilisierung betrieben werden bei gleichzeitig geringen Einlaufzeiten von maximal 15 Minuten. Der Laser ist in einem kompakten zylindrischen Gehäuse untergebracht. Die Regelelektronik und die Spannungsversorgung befinden sich in einem separaten Tischgehäuse. Die Strahlungsleistung beträgt größer gleich 1,2 mW. An der Stirnseite des Lasers befindet sich ein C-Mount-Einschraubgewinde zur festen Montage einer mechanischen Blende oder anderer optischer Baugruppen. Es stehen optional LWL-Einkoppelvorrichtungen für Multimode- und Monomodefasern zur stabilen und justierarmen Einkopplung des Laserlichts zur Verfügung. Eingesetzt werden die Laser als Lichtquelle in der laseroptischen Messtechnik, wo die Wellenlänge als natürliche, hochstabile Maßverkörperung genutzt wird und als Frequenznormal.

Am Messestand der Wildauer Hochschule auf der Laser Optics Berlin 2012 können sich die Fachbesucher über verschiedene aktuelle Kooperationsprojekte der angewandten Forschung und Entwicklung mit innovativen Unternehmen der Hauptstadtregion informieren. Dazu gehört beispielsweise „OMEGA“. Bei diesem Projekt geht es um die Entwicklung von Materialien und Konzepten für optische Modulatoren auf Basis elektrooptischer Schaltprozesse für den Gigabit-Datentransfer und verwandte Anwendungen. Das Forschungsprojekt befasst sich mit der schnellen Datenübertragung in der Telekommunikation. Unter Einsatz spezieller organischer Materialien entstehen elektrooptische Modulatoren, mit deren Hilfe elektronische Informationen auf optische Trägersignale aufgeprägt werden. Im Rahmen von „ELSTER“ befasst sich ein Team mit elektrisch schalt- und einstellbaren diffraktiv-optischen Elementen auf Basis neuartiger Flüssigkristall-Polymer-Materialien. Neuartige Lichtquellen und Komponenten für die Silizium-Photonik sind Gegenstand des Teilvorhabens „SiliconLight“. (Bild: Der Masterstudiengang Photonics vermittelt auch umfassende Kenntnisse in Mikrotechnologien.)

Die Interferometer der Baureihe μPhase® ermöglichen schnell und zuverlässig objektive und präzise Oberflächen- und Wellenfrontmessungen. In einem Instrument bieten sie den Twyman-Green- und den Fizeau-Modus an. Die Interferometer erlauben die Messung von Optiken und Oberflächen mit Reflektivitäten im Bereich 0,3 bis 100 Prozent. Eine zweite Kamera erleichtert das Ausrichten des Prüflings. Die benutzerfreundliche Mess- und Analyse-Software μShape™ unterstützt sowohl den Einsatz in der Produktion als auch im Labor und erfüllt alle Anforderungen des Qualitätsmanagements. Angeboten werden die Systeme als eigenständiges Interferometer-Modul sowie als vordefinierte schlüsselfertige Lösungen. Die Interferometer-Systeme finden bei der Messung von optischen Komponenten aus Glas, Kunststoff, Metall oder Keramik Verwendung. Die berührungslose Messtechnik verhindert Beschädigungen an dem zu messenden Material und liefert zugleich die vollständige Information über die Qualität der gemessenen Oberfläche oder Wellenfront. Weiterhin präsentiert die Firma aus Wedel den WaveMaster® SmartGage (Bild), eine Messlösung zur Qualitätsüberwachung und Steuerung optischer Oberflächen.

Das Optische Institut der Technischen Universität Berlin betreibt grundlagen- und anwendungsorientierte Forschung zur Lichtoptik, Laserphysik und Quantenelektronik. Optik und Photonik dienen als Basistechnologien für die Messtechnik, Materialbearbeitung und Medizintechnik. Die Strahlungseigenschaften neuartiger Lasersysteme werden untersucht, um diese an spezielle Anwendungen anzupassen. Messungen an Festkörper- und Diodenlasern zum spektroskopischen Nachweis von Treibhausgasen wie CO2 und CH4 bilden einen weiteren Schwerpunkt. Die Entwicklung von Hochleistungs-Festkörperlasern für das Schweißen, Bohren und den Materialabtrag erfolgt in Zusammenarbeit mit Industrieunternehmen und Instituten. Diodengepumpte Laser, Dioden-Faserkoppelungen und optische Dünnschichten werden designed, hergestellt und charakterisiert zur Herstellung vertikal integrierter Strukturen wie Sensoren und Modulatoren. Horizontal integrierte Nano-Strukturen werden im Projekt zur Silizium-Photonik bearbeitet. (Bild: Schmalbandige Fabry-Perot-Filter mit Spitzentransmissionen von 90 Prozent.)

Die beiden neuen Micro-OTDR-Typen AQ1200B und AQ1200C (Bild) sind speziell für den Einsatz an passiv optischen Netzen (PON) konzipiert. Sie erlauben Messungen auf den Wellenlängen 1.625 und 1.650 nm und sind für den Einsatz an in Betrieb befindlichen PON-Netzen im FTTx-Netz optimiert. Jedes der beiden Modelle wird mit einem integrierten Bandpass geliefert, der lediglich die Messwellenlänge passieren lässt. Damit gehören Störungen der OTDR-Messung durch Signallicht des PON-Netzes nun der Vergangenheit an. Durch die Verwendung von schmalbandigen Laserquellen im OTDR werden Störungen des Netzes ebenfalls ausgeschlossen, sodass Messungen im Betrieb des PON-Netzes jederzeit ausführbar sind. – Für die optische Spektralanalyse präsentiert der Aussteller die neue Firmware „Intelligente Analysesoftware“ . Sie bietet jetzt in ihrer zweiten Generation 17 neue Funktionen für die Spektrumanalysatoren der Reihe AQ6370C. Sie machen das Messen optischer Spektren noch einfacher und schneller. Zu den Top-Features zählen die Auswahlmöglichkeit eines nun doppelt schnellen Messmodus. Der externe Trigger-Eingang hat jetzt eine „Sample-Enable“-Funktion zur Unterstützung von Multi-Loop-Tests bei Übertragungs- und Modulationsanalysen.

Das halbautomatische Selektiv-Lötgerät ONYX 29 (Bild) besitzt sieben motorisierte Achsen. Bei der Geräteentwicklung hat die Schweizer Firma bereits umfassend berücksichtigt, keine konzeptionellen Grenzen zu setzen. Die stabile Maschinenkonstruktion bei gleichzeitig offenem Hard- und Software-Konzept bietet dafür den optimalen Rahmen. Einerseits führt der Profile Development Wizzard den Anwender sicher und effizient durch die Profil-Erstellung. Andererseits können geschulte Keyuser auf einer tieferen Ebene alle Möglichkeiten der offenen und modularen Software jenseits von Grenzen vorgefertigter Pakete kombinieren. Zu den standardmäßigen Leistungsmerkmalen der ONYX 29 gehören die kraftvolle und kontrollierte Unterheizung mit 6.000 W, die Oberheizung mit 2.000 W, die Kraftmessung von der Aufnahme bis zur Platzierung, die Stickstoff-Zuführung und die Kühlungsmöglichkeiten bei geschlossenem Regelkreis. Hinzu kommen weitere Optionen wie Leiterplattenkühlung und berührungslose Restlot-Absaugung. Dadurch wird auch der Reparaturprozess zuverlässig und zusammen mit der flexiblen Software allen Anforderungen mehr als gerecht.